Aurion Anlagentechnik GmbH
01.10.2025 10:40
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AURION 可根据您的需求提供真空下基片处理的多室系统。可提供的配置包括用于溅射和 RIE 工艺的负载锁定室、传输室和工艺模块。
AURION可根据您的需求提供在线（通过式）系统，在真空条件下进行基片传输。可提供的配置包括负载锁定室、前处理室和溅射室。可提供垂直和水平布局。
类别 我们提供
国家 德国
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