Bronkhorst High-Tech BV的质量流量计/控制器 (EL-FLOW® METAL SEALED )
金属密封气体质量流量计
Bronkhorst® F-111CM 型质量流量计 (MFM) 专为满足半导体市场以及其他高纯度气体应用的要求而设计。该仪器表面质量高,采用模块化结构,金属对金属密封,可确保长期的密封性。F-111CM 适用于精确测量 0.12...6 sccm 至 1...50 slm(基于 N2)的流量范围,工作压力介于真空和 1500 psig(100 bar)之间。
EL-FLOW® 金属密封系列配备数字 pc 板,具有高精度、出色的温度稳定性和快速响应能力。主数字 pc 板包含测量和控制所需的所有通用功能。除了标准的 RS232 输出外,仪器还提供模拟输入/输出。作为选件,可安装板载接口,提供 CANopen®、DeviceNet™、EtherCAT®、PROFIBUS DP、PROFINET、Modbus RTU、ASCII 或 TCP/IP、EtherNet/IP 或 FLOW-BUS 协议。EL-FLOW® 金属密封设计具有可选的多气体/多范围功能,可为(OEM)客户提供最佳的灵活性和工艺效率。
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