Stäubli Electrical Connectors AG

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瑞士
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DIN EN ISO 9001

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Stäubli Electrical Connectors AG 的用于半导体技术的洁净室机器人

我们的洁净室机器人解决方案集精度、速度和洁净度于一体

在精度、速度和减少微粒污染方面，电子和半导体制造业对自动化提出了很高的要求。史陶比尔的洁净室机器人可以实现高效的解决方案。我们的机器人可以在整个半导体制造价值链中以极高的精度、速度和低振动运动来搬运硅片、FOUPs/盒式磁带以及光掩膜和面板。

专为半导体行业开发的

专门开发的超级洁净室 (SCR) 六轴机器人专为满足洁净室环境的严格要求而设计。它们符合 ISO 14644-1 Class 2/3 或 FED209E Subclass 1 标准。这些机器的特点是完全封装的手臂由带有特殊涂层的聚氨酯制成，在狭小空间内的机动性令人印象深刻。与其他晶圆制造机器人相比，史陶比尔的SCR机器人具有更高的灵活性、更大的有效载荷和更长的伸展距离。因此，它们能够满足搬运晶圆、光掩膜和晶圆盒的所有要求。由于机器人占地面积小，可以节省专用设备的宝贵安装空间。