Carl Zeiss IQS Deutschland GmbH的3D测量系统 (XENOS)
参考资料
蔡司XENOS适用于任何需要最高精度的地方--研究机构的测量实验室、航空工业和光学工业。这台高端机器将技术上可行的极限精度与近一立方米的测量范围相结合。
创新的机械设计
蔡司XENOS以其基于成熟的蔡司CenterMax的新机械设计给人留下深刻印象。与标准的桥式设计不同,Y形导轨位于侧壁之上,将所有移动轴与夹持区分开。因为只有横梁在Y方向移动,所以移动质量较低。这在任何时候都保持不变--与移动工作台相比,这是一个真正的好处。总之,重量的减轻和不断移动的质量使驱动装置在加速和最大速度方面得到最佳协调。
所有轴上的线性驱动
蔡司XENOS在所有轴上使用线性驱动。其好处是:高速、非常快的加速度、高定位精度和无剪切力驱动。结合高分辨率的刻度,ZEISS XENOS上使用的线性驱动提供了非常高的路径附着力和低于100纳米的极高定位精度。例如,测针的偏移量保持得更加恒定,从而使精度更高。在测量曲面时,另一个好处是显而易见的:测针越是可靠和准确地遵循指定的路径,就越能精确地确定误差。
虚拟中央驱动
蔡司的XENOS在Y方向有两个线性驱动,通过蔡司开发的新技术实现同步:中央驱动。它确保了根据X轴的位置,驱动器的最佳力分布。这是由最新一代的控制器和算法实现的。它是在整个测量范围内实现最大精度和最佳路径附着力的关键因素。
碳化硅陶瓷
蔡司XENOS在机器结构中与精度有关的部分使用创新的碳化硅陶瓷。到目前为止,这种材料很少被用于类似的零件尺寸或精度。与标准的氧化铝陶瓷相比,碳化硅陶瓷的热膨胀率降低了约50%,刚度提高了30%,重量减轻了20%。与钢相比,它以一半的重量提供两倍的刚度。
增强的VAST金
蔡司XENOS标配了蔡司的VAST金质参考探头。在ZEISS XENOS的开发过程中,蔡司的这个强大的传感器被进一步优化,以获得更好的准确性和可重复性。ZEISS XENOS上与柱塞的连接更加坚硬,这也是新的做法。VAST金传感器是为长度达800毫米、重量达500克的测针而设计的,包括不对称的测针配置。
优化的空气轴承
新的空气轴承具有更高的刚性连接,增强了稳定性,因此可以实现更好的精度。
改进的电子设计
通过改进的去耦和以分散模块为特征的新电子概念,所有三坐标测量机上的移动电缆对精度的影响已明显减少。新的计算机辅助精度(CAA)验收方法和额外的CAA校正在实现最大精度方面发挥着越来越重要的作用。
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