在半导体行业，结构的减少导致了更小、更有效、更快、更便宜的集成电路生产。随着微电子技术的发展，对负责清洁、安全运输晶圆的处理系统的要求也在增加。在一个定制的应用中，ACE的10个微型减震器为每个线性轴提供保护。

光刻技术是制造微电子元件和电路以及生产微系统的一项关键技术。在这一过程中，结构图案从光罩转移到晶圆上的光结构、光敏感、光刻胶的薄层上。为了确保其完美的生产，设计师们在对自动化过程进行编程和监测序列时都极为谨慎。由于对微处理器和存储芯片的需求，以及由于可靠性在晶圆生产中是最重要的，许多芯片制造商在处理系统方面与内部供应商合作。这些人可以参与到生产过程中，而不会有太大的风险，通常在设计中配备高质量的、经过验证的驱动、控制和线性轴的标准组件。为了通过坚固的、机械的、与电流无关的、也可用于洁净室的机器元件以最佳方式确保后者，与ACE Stoßdämpfer GmbH进行了合作。合作的另一个重要原因是，来自Langenfeld的公司除了提供各种各样的目录产品外，还提供定制的解决方案。安恒利经验丰富的工程师团队通过使用软件精确设计每个部件，然后在安恒利的测试实验室进行测试，使这些部件精确地适应半导体制造商的要求。这样，他们与客户一起，确保所有的生产轴得到有效的保护，以排除在处理过程中的损坏。

设计、模拟、测试台：ACE如何将标准阻尼器变成独特的产品
正如公司名称所示，ACE的优势之一是在减震技术领域。该制造商最初来自美国，几乎在60年前就率先将可调节的工业减震器推向市场。该公司自2016年起成为斯泰必鲁斯集团的一部分，还为设计师提供工业空气弹簧、旋转制动器、夹持元件和其他众多去耦振动的解决方案等部件。在这种情况下，小型和工业减震器仍然是安恒利的一个核心业务领域，安全减震器也是如此。多年来，美国和欧洲的开发工程师不断扩大与这些产品相关的独特技术诀窍，因此，它也导致了客户在这一应用中所期望的结果。

对于芯片生产，高精度、无摩擦的轴被安装在相关应用的处理系统中。根据制造商的说法，他们的X轴和Y轴与中心杆轴（CP）一样，在发生碰撞时只能以最大允许的力加载，以确保整个系统100%不被损坏。因此，在这个应用中，三个车桥必须配备ACE小型减震器系列中的三种不同类型。Y轴使用了四个M20螺纹的小减震器，X轴使用了四个，但是是M18螺纹，CP轴使用了两个M25螺纹。

第一步，安恒利与客户合作，为三根车轴中的每一根车轴确定合适的减振器类型，这必须符合客户提供的确切规格。此外，ACE的工程师们还得到了在发生碰撞时可容忍的最大支撑力。以Y轴为例，以下参数被分解为每个阻尼器。质量，m=95.85公斤，速度，v=1.08米/秒，因此对应的动能为55.90牛。该车桥的最大允许支撑力为5700牛。根据这些信息，在第二步中，ACE开发部门模拟了小型减震器类型的钻孔模式，可以考虑电驱动的质量力和速度。如图（图3）所示，可以在整个14毫米的行程中均匀地降低能量和速度，使最大支撑力下降到大约5300牛米的数值。安恒利也能够达到规定的数值，通过机械部件对其他两个车轴进行最佳保护。在第三步，也是最后一步，根据模拟结果定制的小型减震器在经过大量测试后交付给高科技客户。从那时起，安恒利的10个小型减震器已经为晶圆生产中使用的每个处理系统的所有三个运动轴提供了定制的保护。